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洁净车间系统解决方案

  • 洁净车间系统解决方案

    Clean room system(CRS?)

    一、洁净车间系统介绍 1.洁净室简介 亦称为无尘?#19968;?#28165;净室。是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能具有维持原?#20154;?#35774;定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,?#19997;?#38388;我们称之为洁净室。 2.洁净室控管项目 (1)能除去空气中飘游之微尘粒子。 (2)能防止微尘粒子之产生。 (3)温度和湿度之控制。 (4)压力之调节。 (5)有害气体之排除。 (6)结构物与隔间之气密性。 (7)静电之防制。 (8)电磁干扰预防。 (9)安全因素之考虑。 (10)节能之考量。 3.洁净室构成 洁净?#19994;?#26500;成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可?#27169;?#21542;则将无法构成一完整且品质良好的洁净...

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